具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究

陈蔚; 张雯旭; 冯举; 张璞

doi:doi:10.3788/yjyxs20163112.1118

液晶与显示, 2016, 31 (12): 1118, 网络出版: 2016-12-30

具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究

Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments

陈蔚 ^*张雯旭冯举张璞

作者单位

成都京东方光电科技有限公司自动化技术部, 四川成都 611731

图 & 表

陈蔚, 张雯旭, 冯举, 张璞. 具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究[J]. 液晶与显示, 2016, 31(12): 1118. CHEN Wei, ZHANG Wen-xu, FENG Ju, ZHANG Pu. Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2016, 31(12): 1118.