光电子技术, 2020, 40 (4): 277, 网络出版: 2021-01-12  

基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统

White Light Interference Signal Processing System for Gap Measurement Based on ZYNQ
作者单位
1 中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室,成都60209;中国科学院光电技术研究所,成都61009;中国科学院大学,北京100049
2 中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室,成都60209;中国科学院光电技术研究所,成都61009
引用该论文

董晓璇, 刘明刚, 罗先刚, 高平. 基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统[J]. 光电子技术, 2020, 40(4): 277.

Xiaoxuan DONG, Minggang LIU, Xiangang LUO, Ping GAO. White Light Interference Signal Processing System for Gap Measurement Based on ZYNQ[J]. Optoelectronic Technology, 2020, 40(4): 277.

参考文献

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