基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统

董晓璇; 刘明刚; 罗先刚; 高平

doi:doi:10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.04.007

光电子技术, 2020, 40 (4): 277, 网络出版: 2021-01-12

基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统

White Light Interference Signal Processing System for Gap Measurement Based on ZYNQ

董晓璇 ¹刘明刚 ²罗先刚 ²高平 ²

作者单位

¹ 中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室，成都60209；中国科学院光电技术研究所，成都61009；中国科学院大学，北京100049

² 中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室，成都60209；中国科学院光电技术研究所，成都61009

图 & 表

董晓璇, 刘明刚, 罗先刚, 高平. 基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统[J]. 光电子技术, 2020, 40(4): 277. Xiaoxuan DONG, Minggang LIU, Xiangang LUO, Ping GAO. White Light Interference Signal Processing System for Gap Measurement Based on ZYNQ[J]. Optoelectronic Technology, 2020, 40(4): 277.