应用光学, 2015, 36 (1): 103, 网络出版: 2015-03-23  

不同结构绝对光栅尺的误码机制研究

Machine-made bit error mechanism of absolute grating scale in different structures
韦青海 1,2,*陈新 1,2刘强 1,2王晗 1,2陈彬 1,2房飞宇 1,2
作者单位
1 广东工业大学 机电学院 广州 510006
2 广东省微纳加工技术与装备重点实验室 广州 510006
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韦青海, 陈新, 刘强, 王晗, 陈彬, 房飞宇. 不同结构绝对光栅尺的误码机制研究[J]. 应用光学, 2015, 36(1): 103. Wei Qinghai, Chen Xin, Liu Qiang, Wang hang, Chen Bin, Fang Feiyu. Machine-made bit error mechanism of absolute grating scale in different structures[J]. Journal of Applied Optics, 2015, 36(1): 103.

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