1 广东工业大学 机电学院 广州 510006
2 广东省微纳加工技术与装备重点实验室 广州 510006
针对光栅尺具有断电位置复位、无累计误差、高精度优点, 在光学隔振平台上分别建立开放式和封闭式绝对光栅尺实验系统, 绝对光栅尺采用图像识别原理, 以气浮直线电机ArotechABL1500为参考对象, 使用激光干涉仪RENISHAW XL-80校核精度, 研究不同结构绝对光栅尺的误码特点及原因。通过对比实验及研究分析, 表明封闭式绝对尺相对于开放式绝对尺的误码率要高, 开放式绝对式光栅尺的误码率为3%, 封闭式绝对式光栅尺的误码率为8%。
绝对光栅尺 图像识别 开放式 封闭式 误码 absolute grating ruler image identification sealed unsealed bit error
