光学技术, 2017, 43 (3): 222, 网络出版: 2017-06-08
抛光垫磨损非均匀性研究
Research on wear nonuniformity of polishing pad
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唐咏凯, 李军, 花成旭, 仝浩呈, 朱永伟, 左敦稳. 抛光垫磨损非均匀性研究[J]. 光学技术, 2017, 43(3): 222. TANG Yongkai, LI Jun, HUA Chengxu, TONG Haocheng, ZHU Yongwei, ZUO Dunwen. Research on wear nonuniformity of polishing pad[J]. Optical Technique, 2017, 43(3): 222.
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