利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度

岳巾英; 王泰升; 李素文

光学技术, 2017, 43 (3): 208, 网络出版: 2017-06-08

利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度

Using the power spectral density to evaluate the surface roughness of optical element ion beam polishing

岳巾英 ^1,*王泰升 ²李素文 ¹

作者单位

¹ 长春工程学院理学院, 长春 130021

² 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 光电技术研发中心, 长春 130033

引用该论文

岳巾英, 王泰升, 李素文. 利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度[J]. 光学技术, 2017, 43(3): 208.

YUE Jinying, WANG Taisheng, LI Suwen. Using the power spectral density to evaluate the surface roughness of optical element ion beam polishing[J]. Optical Technique, 2017, 43(3): 208.

引用列表

1、空芯微结构光纤空气孔内壁粗糙度研究进展激光与光电子学进展, 2023, 60 (23): 2300003

岳巾英, 王泰升, 李素文. 利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度[J]. 光学技术, 2017, 43(3): 208. YUE Jinying, WANG Taisheng, LI Suwen. Using the power spectral density to evaluate the surface roughness of optical element ion beam polishing[J]. Optical Technique, 2017, 43(3): 208.

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