光学技术, 2017, 43 (3): 208, 网络出版: 2017-06-08   

利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度

Using the power spectral density to evaluate the surface roughness of optical element ion beam polishing
作者单位
1 长春工程学院 理学院, 长春 130021
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 光电技术研发中心, 长春 130033
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN205
栏目: 光学测量
项目基金: 国家自然科学基金(NSFC 11304021)
收稿日期: 2016-09-06
修改稿日期: --
网络出版日期: 2017-06-08
通讯作者: 岳巾英 (yuejy444@163.com)
备注: --

岳巾英, 王泰升, 李素文. 利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度[J]. 光学技术, 2017, 43(3): 208. YUE Jinying, WANG Taisheng, LI Suwen. Using the power spectral density to evaluate the surface roughness of optical element ion beam polishing[J]. Optical Technique, 2017, 43(3): 208.

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