多波长数字全息计量技术综述

张悦萌; 蔡萍; 隆军; 闫浩

doi:doi:10.3788/LOP57.100002

激光与光电子学进展, 2020, 57 (10): 100002, 网络出版: 2020-05-08

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Review of Multi-Wavelength Digital Holography Metrology

张悦萌蔡萍 ^*隆军闫浩

作者单位

上海交通大学电子信息与电气工程学院, 上海 200240

图 & 表

图 1. 使用二向色镜实现参考光准共路方法^[27]。(a)光路结构;(b)针孔结构

Fig. 1. Reference wave quasi common path method using dichroic mirrors^[27]. (a) Optical setup; (b) pinhole structure

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图 2. 单参考光臂法的光路示意图^[28]。(a)使用镜子调节空间载波频率;(b)同时使用镜子和光栅

Fig. 2. Optical setup of single reference beam method^[28]. (a) Controlling the spatial carrier through using a mirror; (b) using a mirror and a grating

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图 3. 双波长实时四步并行相移干涉法^[49]。(a)概念图;(b)极性阵列局部示意图

Fig. 3. Simultaneous dual-wavelength parallel four-step phase-shifting interferometry^[49]. (a) Schematic of the method; (b) partial schematic of polarization array

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图 4. 彩色相机实时三波长并行相移干涉法^[56]

Fig. 4. Simultaneous three-wavelength parallel phase-shifting interferometry using color camera^[56]

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图 5. 彩色相机三波长自参考干涉法光路示意图^[59]

Fig. 5. Optical setup of three-wavelength self-reference interferometry using color camera^[59]

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张悦萌, 蔡萍, 隆军, 闫浩. 多波长数字全息计量技术综述[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(10): 100002. Yuemeng Zhang, Ping Cai, Jun Long, Hao Yan. Review of Multi-Wavelength Digital Holography Metrology[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(10): 100002.

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图 1. 使用二向色镜实现参考光准共路方法^[27]。(a)光路结构;(b)针孔结构

Fig. 1. Reference wave quasi common path method using dichroic mirrors^[27]. (a) Optical setup; (b) pinhole structure

图 2. 单参考光臂法的光路示意图^[28]。(a)使用镜子调节空间载波频率;(b)同时使用镜子和光栅

Fig. 2. Optical setup of single reference beam method^[28]. (a) Controlling the spatial carrier through using a mirror; (b) using a mirror and a grating

图 3. 双波长实时四步并行相移干涉法^[49]。(a)概念图;(b)极性阵列局部示意图

Fig. 3. Simultaneous dual-wavelength parallel four-step phase-shifting interferometry^[49]. (a) Schematic of the method; (b) partial schematic of polarization array

图 4. 彩色相机实时三波长并行相移干涉法^[56]

Fig. 4. Simultaneous three-wavelength parallel phase-shifting interferometry using color camera^[56]

图 5. 彩色相机三波长自参考干涉法光路示意图^[59]

Fig. 5. Optical setup of three-wavelength self-reference interferometry using color camera^[59]

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图 1. 使用二向色镜实现参考光准共路方法[27]。(a)光路结构;(b)针孔结构

Fig. 1. Reference wave quasi common path method using dichroic mirrors[27]. (a) Optical setup; (b) pinhole structure

图 2. 单参考光臂法的光路示意图[28]。(a)使用镜子调节空间载波频率;(b)同时使用镜子和光栅

Fig. 2. Optical setup of single reference beam method[28]. (a) Controlling the spatial carrier through using a mirror; (b) using a mirror and a grating

图 3. 双波长实时四步并行相移干涉法[49]。(a)概念图;(b)极性阵列局部示意图

Fig. 3. Simultaneous dual-wavelength parallel four-step phase-shifting interferometry[49]. (a) Schematic of the method; (b) partial schematic of polarization array

图 4. 彩色相机实时三波长并行相移干涉法[56]

Fig. 4. Simultaneous three-wavelength parallel phase-shifting interferometry using color camera[56]

图 5. 彩色相机三波长自参考干涉法光路示意图[59]

Fig. 5. Optical setup of three-wavelength self-reference interferometry using color camera[59]

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图 1. 使用二向色镜实现参考光准共路方法^[27]。(a)光路结构;(b)针孔结构

Fig. 1. Reference wave quasi common path method using dichroic mirrors^[27]. (a) Optical setup; (b) pinhole structure

图 2. 单参考光臂法的光路示意图^[28]。(a)使用镜子调节空间载波频率;(b)同时使用镜子和光栅

Fig. 2. Optical setup of single reference beam method^[28]. (a) Controlling the spatial carrier through using a mirror; (b) using a mirror and a grating

图 3. 双波长实时四步并行相移干涉法^[49]。(a)概念图;(b)极性阵列局部示意图

Fig. 3. Simultaneous dual-wavelength parallel four-step phase-shifting interferometry^[49]. (a) Schematic of the method; (b) partial schematic of polarization array

图 4. 彩色相机实时三波长并行相移干涉法^[56]

Fig. 4. Simultaneous three-wavelength parallel phase-shifting interferometry using color camera^[56]

图 5. 彩色相机三波长自参考干涉法光路示意图^[59]

Fig. 5. Optical setup of three-wavelength self-reference interferometry using color camera^[59]