图形化蓝宝石衬底技术综述

汪明刚; 杨威风; 胡冬冬; 李超波; 夏洋

doi:doi:10.3788/lop49.080005

激光与光电子学进展, 2012, 49 (8): 080005, 网络出版: 2012-05-23

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Patterned Sapphire Substrate Technique: A Review

汪明刚 ^*杨威风胡冬冬李超波夏洋

作者单位

中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029

基本信息

DOI:	10.3788/lop49.080005
中图分类号:	O47
栏目:	综述
项目基金:	国家科技重大专项（2009ZX02037）资助课题。
收稿日期:	2012-02-28
修改稿日期:	2012-03-26
网络出版日期:	2012-05-23
通讯作者:	汪明刚 (wangminggang@ime.ac.cn)
备注:	--

汪明刚, 杨威风, 胡冬冬, 李超波, 夏洋. 图形化蓝宝石衬底技术综述[J]. 激光与光电子学进展, 2012, 49(8): 080005. Wang Minggang, Yang Weifeng, Hu Dongdong, Li Chaobo, Xia Yang. Patterned Sapphire Substrate Technique: A Review[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2012, 49(8): 080005.