激光与光电子学进展, 2012, 49 (8): 080005, 网络出版: 2012-05-23   

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Patterned Sapphire Substrate Technique: A Review
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中国科学院微电子研究所 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
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汪明刚, 杨威风, 胡冬冬, 李超波, 夏洋. 图形化蓝宝石衬底技术综述[J]. 激光与光电子学进展, 2012, 49(8): 080005. Wang Minggang, Yang Weifeng, Hu Dongdong, Li Chaobo, Xia Yang. Patterned Sapphire Substrate Technique: A Review[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2012, 49(8): 080005.

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