中国激光, 2015, 42 (7): 0708010, 网络出版: 2015-06-26
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement
基本信息
DOI: | 10.3788/cjl201542.0708010 |
中图分类号: | TH122 |
栏目: | |
项目基金: | 国家科技重大专项 |
收稿日期: | 2015-03-04 |
修改稿日期: | 2015-03-18 |
网络出版日期: | 2015-06-26 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光, 2015, 42(7): 0708010. 王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(7): 0708010.