中国激光, 2015, 42 (7): 0708010, 网络出版: 2015-06-26
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement
引用该论文
王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光, 2015, 42(7): 0708010.
王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(7): 0708010.
参考文献
王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光, 2015, 42(7): 0708010. 王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(7): 0708010.