基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量

王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍

doi:doi:10.3788/cjl201542.0708010

中国激光, 2015, 42 (7): 0708010, 网络出版: 2015-06-26

基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量

Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement

王辉周烽喻波谢耀于杰刘钰王丽萍

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林长春 130033

知识挖掘

王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光, 2015, 42(7): 0708010. 王辉, 周烽, 喻波, 谢耀, 于杰, 刘钰, 王丽萍. Measurement of Thickness Uniformity of Optic Multilayer Based on Surface Figure Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(7): 0708010.