双光束超分辨激光直写纳米加工技术

曹耀宇; 谢飞; 张鹏达; 李向平

doi:doi:10.3969/j.issn.1003-501x.2017.12.001

光电工程, 2017, 44 (12): 1133, 网络出版: 2018-01-17

双光束超分辨激光直写纳米加工技术

Dual-beam super-resolution direct laser writing nanofabrication technology

曹耀宇 ^*谢飞张鹏达李向平

作者单位

暨南大学光子技术研究院，广东省光纤传感与通信技术重点实验室，广州 510632

图 & 表

曹耀宇, 谢飞, 张鹏达, 李向平. 双光束超分辨激光直写纳米加工技术[J]. 光电工程, 2017, 44(12): 1133. Yaoyu Cao, Fei Xie, Pengda Zhang, Xiangping Li. Dual-beam super-resolution direct laser writing nanofabrication technology[J]. Opto-Electronic Engineering, 2017, 44(12): 1133.