光学 精密工程, 2019, 27 (2): 402, 网络出版: 2019-04-02
新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析
Variable stiffness characteristic analysis of a novel micro-nano probe with wire constraint suspension
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20192702.0402 |
| 中图分类号: | TH721 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.51605006, No.51675004)、 安徽省高等学校自然科学研究基金重点资助项目(No.KJ2015A121)、 广西省制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题资助项目(No.17-259-05-013K) |
| 收稿日期: | 2018-07-26 |
| 修改稿日期: | 2018-09-16 |
| 网络出版日期: | 2019-04-02 |
| 通讯作者: | 李保坤 (libkmail@126.com) |
| 备注: | -- |
李保坤, 刘向阳, 杨洪涛, 吴耀东. 新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析[J]. 光学 精密工程, 2019, 27(2): 402. LI Bao-kun, LIU Xiang-yang, YANG Hong-tao, WU Yao-dong. Variable stiffness characteristic analysis of a novel micro-nano probe with wire constraint suspension[J]. Optics and Precision Engineering, 2019, 27(2): 402.
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