长曲率半径测量系统精度设计及分析

魏凤龙; 田伟; 彭石军

doi:doi:10.3788/lop54.061205

激光与光电子学进展, 2017, 54 (6): 061205, 网络出版: 2017-06-08

长曲率半径测量系统精度设计及分析

Precision Design and Analysis of Large Curvature Radius Measurement System

魏凤龙 ^*田伟彭石军

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心，吉林长春 130033

图 & 表

魏凤龙, 田伟, 彭石军. 长曲率半径测量系统精度设计及分析[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(6): 061205. Wei Fenglong, Tian Wei, Peng Shijun. Precision Design and Analysis of Large Curvature Radius Measurement System[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(6): 061205.