基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2007, 27 (1): 63, 网络出版: 2007-01-22

基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术

MEMS Dynamic Testing Technique Based on Differential Laser Doppler Effect

张涛 ^*冷长林钟莹张国雄

作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

引用该论文

张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. 基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术[J]. 光学学报, 2007, 27(1): 63.

张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. MEMS Dynamic Testing Technique Based on Differential Laser Doppler Effect[J]. Acta Optica Sinica, 2007, 27(1): 63.

引用列表

1、基于双芯光子晶体光纤的激光多普勒多点速度测量研究光学学报, 2015, 35 (11): 1112003

2、基于高速摄影动态测试微陀螺振动光学精密工程, 2012, 20 (1): 165

3、相位调制型激光自混合干涉仪的动态特性分析及测试中国激光, 2011, 38 (12): 1208003

4、 CCD在激光外差探测系统中的应用大气与环境光学学报, 2009, 4 (3): 229

张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. 基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术[J]. 光学学报, 2007, 27(1): 63. 张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. MEMS Dynamic Testing Technique Based on Differential Laser Doppler Effect[J]. Acta Optica Sinica, 2007, 27(1): 63.

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