光学学报, 2007, 27 (1): 63, 网络出版: 2007-01-22
基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术
MEMS Dynamic Testing Technique Based on Differential Laser Doppler Effect
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN247 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | 国家自然科学基金(50275108)资助项目 |
收稿日期: | 2006-01-04 |
修改稿日期: | 2006-04-06 |
网络出版日期: | 2007-01-22 |
通讯作者: | 张涛 (zt117@eyou.com) |
备注: | -- |
张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. 基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术[J]. 光学学报, 2007, 27(1): 63. 张涛, 冷长林, 钟莹, 张国雄. MEMS Dynamic Testing Technique Based on Differential Laser Doppler Effect[J]. Acta Optica Sinica, 2007, 27(1): 63.