压电微动工作台的动态迟滞模型

张栋; 张承进; 魏强

光学精密工程, 2009, 17 (3): 549, 网络出版: 2009-10-28

压电微动工作台的动态迟滞模型

Dynamic hysteresis model of piezopositioning stage

张栋 ^1,*张承进 ¹魏强 ²

作者单位

¹ 山东大学控制科学与工程学院,山东济南 250061

² 泰山学院物理与电子科学系,山东泰安 271021

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	TP271;TN384
栏目:	微纳技术与精密机械
项目基金:	山东省科技发展计划资助项目(No.2007GG30D04D02)。
收稿日期:	2008-06-16
修改稿日期:	2008-07-23
网络出版日期:	2009-10-28
通讯作者:	张栋 (zhangdonggraduate@163.com)
备注:	--

张栋, 张承进, 魏强. 压电微动工作台的动态迟滞模型[J]. 光学精密工程, 2009, 17(3): 549. ZHANG Dong, ZHANG Cheng-jin, WEI Qiang. Dynamic hysteresis model of piezopositioning stage[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(3): 549.