光学 精密工程, 2009, 17 (3): 549, 网络出版: 2009-10-28
压电微动工作台的动态迟滞模型
Dynamic hysteresis model of piezopositioning stage
压电微动工作台 运动定位 动态迟滞模型 PI迟滞模型 扫描探针显微镜 piezopositioning stage dynamic positioning dynamic hysteresis model PI hysteresis model scanning probe microscope
知识挖掘
相关论文
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
6篇
3篇
2篇
1篇
1篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
张栋, 张承进, 魏强. 压电微动工作台的动态迟滞模型[J]. 光学 精密工程, 2009, 17(3): 549. ZHANG Dong, ZHANG Cheng-jin, WEI Qiang. Dynamic hysteresis model of piezopositioning stage[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(3): 549.