中国激光, 2020, 47 (3): 0301006, 网络出版: 2020-03-12   

环境适应性中红外宽带减反射元件的研制 下载: 980次

Fabrication of Environmentally Adaptive Mid-Infrared Broadband Antireflection Components
张晗宇 1,2崔云 2,3孙勇 2,3,4张益彬 2,3王勇禄 2,3周秦岭 3邵建达 1,2,3
作者单位
1 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 201210
2 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室, 上海 201800
3 中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室, 上海 201800
4 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
图 & 表

图 1. 抛物锥体周期微结构示意图

Fig. 1. Schematic of parabolic cone periodic microstructure

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图 2. FDTD Solutions模拟示意图

Fig. 2. Schematic of FDTD solutions simulation

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图 3. 不同微结构周期时透射率随波长的变化

Fig. 3. Variations of transmittance with wavelength at different periods of microstructure

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图 4. 不同d/T时透射率随波长的变化曲线

Fig. 4. Variations of transmittance with wavelength at different d/T values

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图 5. 不同微结构高度时透射率随波长的变化

Fig. 5. Variations of transmittance with wavelength at different heights of microstructure

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图 6. 微结构与复合结构的透射率对比

Fig. 6. Comparison of transmittance between microstructure and composite structure

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图 7. 复合结构制备工艺流程图

Fig. 7. Flow chart of fabrication procedure of composite structure

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图 8. 结构的扫描电镜图。(a)微结构俯视图;(b)微结构倾斜45°;(c)复合结构俯视图;(d)复合结构倾斜45°

Fig. 8. Scanning electron microscopy images of structure. (a) Top view of microstructure; (b) profile 45° of microstructure; (c) top view of composite structure; (d) profile 45° of composite structure

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图 9. 元件#1在具有不同表面状态时的透射率曲线

Fig. 9. Transmittance curves for component #1 with different surface states

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图 10. 元件#2在高低温循环实验前后的透射曲线

Fig. 10. Transmittance curves for component #2 before and after high-low temperature cycle experiment

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张晗宇, 崔云, 孙勇, 张益彬, 王勇禄, 周秦岭, 邵建达. 环境适应性中红外宽带减反射元件的研制[J]. 中国激光, 2020, 47(3): 0301006. Zhang Hanyu, Cui Yun, Sun Yong, Zhang Yibin, Wang Yonglu, Zhou Qinling, Shao Jianda. Fabrication of Environmentally Adaptive Mid-Infrared Broadband Antireflection Components[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(3): 0301006.

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