光学 精密工程, 2011, 19 (3): 612, 网络出版: 2011-03-30   

微加热器热传导试验与计算

Experiment and thermal calculation of micro heater
作者单位
1 清华大学 微电子学研究所,北京 100084
2 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁 大连 116024
基本信息
DOI: --
中图分类号: O551.3;TP212
栏目: 微纳技术与精密机械
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.60576048)、国家重点基础研究发展计划资助项目(No.2007CB310504)
收稿日期: 2010-04-06
修改稿日期: 2010-06-02
网络出版日期: 2011-03-30
通讯作者: 刘泽文 (liuzw@tsinghua.edu.cn)
备注: --

刘泽文, 田昊, 刘冲. 微加热器热传导试验与计算[J]. 光学 精密工程, 2011, 19(3): 612. LIU Ze-wen, TIAN Hao, LIU Chong. Experiment and thermal calculation of micro heater[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(3): 612.

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