光学 精密工程, 2011, 19 (3): 612, 网络出版: 2011-03-30   

微加热器热传导试验与计算

Experiment and thermal calculation of micro heater
作者单位
1 清华大学 微电子学研究所,北京 100084
2 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁 大连 116024
引用该论文

刘泽文, 田昊, 刘冲. 微加热器热传导试验与计算[J]. 光学 精密工程, 2011, 19(3): 612.

LIU Ze-wen, TIAN Hao, LIU Chong. Experiment and thermal calculation of micro heater[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(3): 612.

参考文献

[1] . .Microhotplates with TiN heaters[J]. Sensors and Actuators A: Physical, 2008, 148(2): 416-421.

[2] . Transient thermal bubble formation on polysilicon micro-resisters[J]. Journal of Heat Transfer, 2002, 124(22): 375-382.

[3] . Fabrication, modeling and testing of a thin Au/Ti microheater[J]. International Journal of Thermal Sciences, 2007, 46(6): 580-588.

[4] 王少飞,曹宇,王小宝,等.激光微细熔覆快速制造微加热器阵列[J].中国激光,2007,34(11):1567-1571.

    WANG S F,CAO Y,WANG X B,et al..Microheater array fabrication by laser micro-cladding method[J].Chinese Journal of Lasers, 2007,34(11):1567-1571.(in Chinese)

[5] 闫卫平, 朱剑波, 马灵芝,等.金属薄膜加热器的研究[J].传感技术学报,2004,4(17):615-619.

    YAN W P,ZHU J B,MA L ZH,et al..Research of metal membrane heater[J].Chinese Journal of Sensors and Actuators,2004,4(17):615-619.

[6] 黎仁刚,黄庆安,李伟华.热电耦合微执行器温度分布的节点分析法[J].半导体学报,2005,3(26):562-567.

    LI R G,HUANG Q A,LI W H. A nodal analysis method for temperature distribution of thermo-electrical coupled thermal microactuators[J].Chinese Journal of Semiconductors, 2005,3(26):562-567. (in Chinese)

[7] 罗伟栋.PCR扩增芯片中微加热器结构优化分析[J].传感技术学报,2005,3(18):627-631.

    LUO W D. Analysis and optimization to the structure of micro-heater in PCR Chip[J].Chinese Journal of Sensors and Actuators, 2005,3(18):627-631. (in Chinese)

[8] 吴雷, 李铁, 王立春, 等.微机械面型微加热器的热学分析[J]. 功能材料与器件学报,2005,4(11):466-475.

    WU L, LI T, WANG L CH,et al..Thermal analysis of MEMS micro-hotplate with uniform temperature in large area[J].Journal of Functional Materials and Device,2005,4(11):466-475. (in Chinese)

[9] JOHN H. LIENHARD IV. A Heat Transfer Textbook[M].Houston:Phlogiston Press,2008.

[10] 贺永,傅建中,陈子辰. 热压成型装备精密温控研究[J].光学 精密工程,2008,5(16): 845-851.

    HE Y,FU J ZH,CHEN Z CH. Temperature precise control in hot embossing device[J].Opt. Precision Eng., 2008,5(16):845-851.(in Chinese)

[11] 罗志涛,徐抒岩,陈立恒. 大功率焦平面器件的热控制[J].光学 精密工程,2008,11(16):2187-2195.

    LUO ZH T,XU SH Y,CHEN L H. Thermal control of high-power focal plane apparatus[J].Opt. Precision Eng., 2008,11(16):2187-2195.(in Chinese)

[12] 刘静. 微米/纳米尺度传热学[M].北京:科学出版社,2001.

    LIU J. Micro/nano Scale Heat Transfer[M]. Beijing: China Science Press, 2001. (in Chinese)

[13] 俞昌铭. 热传导及其数值分析[M].北京:清华大学出版社,1981.

    YU CH M. An Numerical Analysis of Heat Conduction[M]. Beijing: Tsinghua University Press,1981. (in Chinese)

刘泽文, 田昊, 刘冲. 微加热器热传导试验与计算[J]. 光学 精密工程, 2011, 19(3): 612. LIU Ze-wen, TIAN Hao, LIU Chong. Experiment and thermal calculation of micro heater[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(3): 612.

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