测量-加工闭环控制的激光抛光聚晶金刚石工艺研究

何安; 曹宇; 姜小霞; 张健; 刘文文; 陈益丰

doi:doi:10.14128/j.cnki.al.20173702.276

应用激光, 2017, 37 (2): 276, 网络出版: 2017-06-08

测量-加工闭环控制的激光抛光聚晶金刚石工艺研究

Study on Laser Polishing Poly Crystalline Diamond by Closed-loop Control of Measurement and Processing

何安 ^*曹宇姜小霞张健刘文文陈益丰

作者单位

浙江省激光加工机器人重点实验室温州大学机电工程学院, 浙江,温州 325035

图 & 表

何安, 曹宇, 姜小霞, 张健, 刘文文, 陈益丰. 测量-加工闭环控制的激光抛光聚晶金刚石工艺研究[J]. 应用激光, 2017, 37(2): 276. He An, Cao Yu, Jiang Xiaoxia, Zhang Jian, Liu Wenwen, Chen Yifeng. Study on Laser Polishing Poly Crystalline Diamond by Closed-loop Control of Measurement and Processing[J]. APPLIED LASER, 2017, 37(2): 276.