光学 精密工程, 2007, 15 (9): 1361, 网络出版: 2008-02-18
长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验
Experimental study of bending silicon chip with long pulse width laser
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 现代应用光学 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.50290101)、辽宁省自然科学基金资助项目(No.20062178) |
| 收稿日期: | 2007-01-21 |
| 修改稿日期: | 2007-05-31 |
| 网络出版日期: | 2008-02-18 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
吴东江, 马广义, 周秋菊, 许卫星, 许媛, 王续跃, 赵福令. 长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(9): 1361. 吴东江, 马广义, 周秋菊, 许卫星, 许媛, 王续跃, 赵福令. Experimental study of bending silicon chip with long pulse width laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(9): 1361.
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