长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验

吴东江; 马广义; 周秋菊; 许卫星; 许媛; 王续跃; 赵福令

光学精密工程, 2007, 15 (9): 1361, 网络出版: 2008-02-18

长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验

Experimental study of bending silicon chip with long pulse width laser

吴东江 ¹马广义 ¹周秋菊 ¹许卫星 ¹许媛 ²王续跃 ¹赵福令 ¹

作者单位

¹ 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024

² 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024

补充材料

吴东江, 马广义, 周秋菊, 许卫星, 许媛, 王续跃, 赵福令. 长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验[J]. 光学精密工程, 2007, 15(9): 1361. 吴东江, 马广义, 周秋菊, 许卫星, 许媛, 王续跃, 赵福令. Experimental study of bending silicon chip with long pulse width laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(9): 1361.