中国激光, 2017, 44 (9): 0901010, 网络出版: 2017-09-07   

半径5 μm的定向输出圆盘形微腔激光器 下载: 1170次

Unidirectional-Emission Circular Microcavity Laser with Radius of 5 μm
作者单位
1 中国电子科技集团公司第二十九研究所, 四川 成都 610036
2 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
图 & 表

图 1. 直连波导的微腔激光器的三维模型

Fig. 1. Three-dimensional model of microcavity laser with radial waveguide

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图 2. 利用宽带激发源得到的微腔激光器TE模式强度谱

Fig. 2. TE mode intensity spectra of microcavity laser obtained by broadband source

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图 3. (a) z=0 μm和(b) y=0 μm截面内1519.6 nm处对称模式的归一化模式强度分布Hz2

Fig. 3. Normalized intensity distributions Hz2 of the symmetric mode at 1519.6 nm in cross sections of (a) z=0 μm and (b) y=0 μm

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图 4. 微腔激光器制备工艺流程

Fig. 4. Preparation process flow for microcavity laser

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图 5. (a) ICP刻蚀后微腔激光器的SEM图像;(b)制作完成的微腔激光器的显微照片

Fig. 5. (a) SEM image of microcavity laser after ICP etching; (b) microscopic picture of fabricated microcavity laser

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图 6. 298 K下电压和输出功率随注入电流的变化曲线

Fig. 6. Output power-current and voltage-current curves measured at 298 K

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图 7. (a) 9 mA连续注入电流下微腔激光器的光谱特性;(b) 298 K下模式波长和SMSR随注入电流的变化

Fig. 7. (a) Spectral characteristic of microcavity laser at injection current of 9 mA; (b) mode wavelength and SMSR versus injection current at 298 K

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图 8. 不同自发辐射因子下计算得到的模式强度-电流曲线,插图为模拟输出功率随注入电流的变化曲线

Fig. 8. Calculated mode intensity-normalized current curves at different spontaneous emission factors, the inset is the variation of output power with injection current

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吕晓萌, 黄永箴, 邹灵秀, 杨跃德, 肖金龙. 半径5 μm的定向输出圆盘形微腔激光器[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0901010. Lü Xiaomeng, Huang Yongzhen, Zou Lingxiu, Yang Yuede, Xiao Jinlong. Unidirectional-Emission Circular Microcavity Laser with Radius of 5 μm[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0901010.

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