真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响

刘华松; 姜承慧; 李士达; 杨霄; 季一勤; 张锋; 陈德应

doi:doi:10.3788/ope.20172508.2038

光学精密工程, 2017, 25 (8): 2038, 网络出版: 2017-10-16

真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响

Effects of vacuum annealing on optical and microstructure properties of zinc sulfide thin film

刘华松 ^1,2,*姜承慧 ¹李士达 ¹杨霄 ¹季一勤 ^1,2张锋 ¹陈德应 ²

作者单位

¹ 中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室，天津 300308

² 哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国防科技重点实验室，黑龙江哈尔滨 150001

引用该论文

刘华松, 姜承慧, 李士达, 杨霄, 季一勤, 张锋, 陈德应. 真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响[J]. 光学精密工程, 2017, 25(8): 2038.

LIU Hua-song, JIANG Cheng-hui, LI Shi-da, YANG Xiao, JI Yi-qin, ZHANG Feng, CHEN De-ying. Effects of vacuum annealing on optical and microstructure properties of zinc sulfide thin film[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(8): 2038.

引用列表

1、三温区梯度化学气相沉积ZnS制备红外与激光工程, 2021, 50 (10): 20210004

2、 2.06 μm激光偏振膜设计与工艺方法红外, 2019, 40 (10): 14

3、 3.7～4.8 μm中红外带通滤光膜研制红外, 2019, 40 (8): 19

4、氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制红外与激光工程, 2018, 47 (6): 621001

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