作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
2 哈尔滨工业大学 航天学院,黑龙江 哈尔滨 150001
3 南京航空航天大学 材料科学与技术学院,江苏 南京 210000
多层膜光学元件的设计是基于理想的单色光进行的,然而光源发出的光束均存在光谱线宽,在非单色光条件下工作,元件的光学特性会偏离理论值。为了分析光束线宽对多层膜光学元件的光学特性影响,首先,基于薄膜辐射特性的部分相干理论,提出了准单色光束入射条件下多层膜光学特性计算方法;其次,通过数值模拟实验研究了光束线宽对窄带滤光片光学特性的影响。研究结果表明:随着线宽增大,滤光片透射通带的矩形度逐渐降低,半高全宽先降低后增大,其在滤光片的理论半高全宽附近取得最小值;光谱线型主要改变透射通带的透射率,对于透射谱线的矩形度以及半高全宽影响较小;为了保证窄带滤光片的通带形状,入射光束的线宽应当小于滤光片透射谱线的理论半高全宽的一半,光谱线型应当趋近于矩形线型函数。
窄带滤光片 功率谱密度函数 光谱线型 光学特性计算 数值模拟 narrow-band filter power spectral density function spectral line-shape profile optical characteristics calculation numerical simulation 
红外与激光工程
2023, 52(12): 20230574
尚鹏 1,2陈蓓曦 3孙鹏 2刘华松 2,*[ ... ]林泉 1
作者单位
摘要
1 有研国晶辉新材料有限公司北京有色金属研究总院, 北京 100088
2 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
3 西北工业大学, 陕西 西安 710129
为了有效抑制4.3 μm CO2辐射对3 μm~5 μm中波红外目标信号的干扰,基于Needle随机插层优化算法,采用电子束蒸发方法,建立了石英晶振监控方式下多层超厚Ge/Al2O3薄膜生长误差的精确反演修正模型,实现了中波红外陷波滤光片的设计、精确反演与制备;同时,针对中波红外陷波滤光片存在的面型变化大的问题,采用预置基底面型方法,实现了中波红外陷波滤光片低面型调控。研究结果表明:随着镀膜时间的增加,高折射率Ge膜具有较好的生长稳定性,而低折射率Al2O3薄膜材料沉积比例因子变化高达11.9%,且呈规律性渐变趋势;所制备的中波红外陷波滤光片在4.2 μm~4.5 μm波段区间平均截止透过率小于0.3%;3.5 μm~4.05 μm及4.7 μm~5.0 μm波段的平均透过率大于95%,镀膜后的面型被有效控制在较小范围;膜层具有较好的复杂环境适应性,成功通过了GJB 2485-95中牢固性、高温、低温、湿热等环境试验考核。
电子束蒸发法 石英晶振监控法 红外滤光片 薄膜 反演修正 electron beam evaporation quartz crystal deposition monitor infrared filter thin film inversion correction 
中国光学
2023, 16(4): 904
作者单位
摘要
1 同济大学
2 天津津航技术物理研究所
光子学报
2022, 51(9): 0951600
李子杨 1,2刘华松 1,2孙鹏 1,2杨霄 1,2[ ... ]苏建忠 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
2 王之江激光创新中心,天津 300308
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1064 nm处透射率为94.0%,在8~12 μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2 μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。
光学薄膜 双谱段减反射 膜系设计 热蒸发离子束辅助沉积 optical thin-film dual-band antireflection thin-film thin-film design thermal evaporation ion-assisted deposition 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210944
白金林 1,2姜玉刚 1,2王利栓 1,2李子杨 1,2[ ... ]苏建忠 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室,天津 300308
光学薄膜元件的面形偏差会导致高精度激光系统中传输光束发生波前畸变,严重影响光学设备的性能。传统的面形偏差控制技术是采用双面镀膜,但需要反复抛光基片以获得高精度面形,这会大大增加研制成本,限制该方法的使用。文中基于离子束溅射沉积技术,采用薄膜应力形变模型预测镀膜后面形变化情况,然后对待镀元件的镀膜面预加工出与变形方向相反的面形,来补偿镀膜后膜层应力造成的薄膜元件变形,最后在预加工好的基片上制备超低面形的宽带高反膜,实现了在550~750 nm的工作波长下反射率R≥99.5%,面形PV≤0.15λ@632.8 nm。此项技术是通过标定薄膜材料的力学参数,预测在相同工艺条件下任意多层膜的面形变化,实现在超宽光谱设计的同时引入力学同步设计,制备出满足光、力双重指标的高质量光学薄膜。
薄膜元件面形 应力预补偿技术 宽谱段 光学加工 thin film element surface shape stress pre-compensation technology wide spectrum optical processing 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200413
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 计算机与信息学院,安徽 合肥 230009
2 天津津航技术物理研究所, 天津 300192
偏振是光的固有属性,当光与物质发生相互作用后,通过解构偏振态变化,可以获取材料组成和结构的重要信息。这一特性使得光的偏振具有很高的研究价值和应用前景。近年来,偏振成像、偏振信息等研究领域蓬勃发展,引起国内外学者的广泛关注。高效地获取偏振信息是该领域发展的关键技术,然而传统的偏振信息探测及获取方案有着各种不足,制约了偏振信息技术的持续化发展。超表面技术使得人们得以根据需求操控光的相位、振幅、偏振等,同时具有微型化和集成化的优势。文中以全矢量偏振信息的获取为出发点,以基于阿基米德螺旋结构的圆偏振探测器为引子,主要介绍基于超表面结构实现偏振信息探测技术的发展过程及研究现状,包括金属超表面偏振探测器、介质超表面偏振探测器以及超表面偏振成像等研究内容,最后展望了基于超表面结构的偏振信息探测技术未来的发展趋势。
偏振信息 超表面 阿基米德螺旋 偏振探测 偏振成像 polarization information metasurface archimedes spiral structure polarization detection polarization imaging 
红外与激光工程
2020, 49(9): 20201041
姜玉刚 1,2,*刘华松 1,2王利栓 1,2陈丹 1,2[ ... ]季一勤 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所, 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308
当前反卫星激光**发展迅猛, 迫切需要研究和发展卫星的激光防护技术, 以增强卫星在空间的生存与防护能力。本文采用可见光-近红外透明和中波吸收的玻璃基底与线性激光防护薄膜相结合的设计方法, 在玻璃基板一面设计分光膜, 实现1315 μm波长的反射和05~08 μm、155 μm波段的增透, 在玻璃基板另一面设计双波段减反射膜, 实现05~08 μm和155 μm波段的增透。采用离子束溅射沉积技术, 实现了激光防护窗口薄膜的制备, 在05~08 μm的平均透过率大于96%, 155 μm的透过率大于98%, 1315 μm的透过率小于01%, 在27 μm的透过率为30%, 在38 μm的透过率为11%。实验结果表明, 该方法实现了可见光-近红外-中红外波段激光防护窗口的制备, 对于卫星平台防护激光**具有重要作用。
激光** 离子束溅射技术 防护薄膜 透过率 反射率 laser weapon ion beam sputtering technique protective film transmittance reflectance 
中国光学
2019, 12(4): 804
姜玉刚 1,2,*刘华松 1,2陈丹 1,2王利栓 1,2[ ... ]季一勤 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308
为获得高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高反射吸收薄膜, 实现吸收损耗的精确测量。本文采用离子束溅射技术, 通过调控氧气流量实现了具有不同吸收的Ta2O5薄膜的制备。以Ta2O5薄膜作为高折射率材料, 设计了355 nm的紫外高反射吸收薄膜。采用离子束溅射沉积技术, 在熔融石英基底上制备了355 nm的吸收薄膜, 对于A=5%的紫外吸收光谱, 在355 nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%, 95.0%和4.9%; 对于A=12%的紫外吸收光谱, 在355 nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%, 87.4%和12.5%。实验结果表明, 采用离子束溅射沉积技术, 可以实现不同吸收率的355 nm高反射吸收薄膜的制备, 对于基于光热偏转测量技术的紫外光学薄膜弱吸收测量仪的定标具有重要的意义。
离子束溅射技术 紫外吸收薄膜 吸收率 透射率 反射率 ion beam sputtering ultraviolet absorption film absorptivity transmissivity reflectivity 
光学 精密工程
2019, 27(3): 527
姜玉刚 1,2,*刘小利 3刘华松 1,2刘丹丹 1,2[ ... ]季一勤 1,2,4
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308
3 空军驻京津地区军事代表室, 天津 300308
4 哈尔滨工业大学光电子技术研究所 可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150080
Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性, 可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术, 在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜, 基于透、反射光谱和椭偏光谱的全光谱数值拟合法, 计算了Si薄膜的光学常数, 并研究了氧气、氮气流量对其光学特性的影响。选择Si和Ta2O5作为高折射率材料、SiO2作为低折射率, 设计了吸收率为2%和10%的宽带(1 000~1 400 nm)吸收薄膜。采用离子束溅射沉积技术, 在熔融石英基底上制备了宽带吸收薄膜, 对于A=2%的宽带吸收光谱, 在1 064、1 200、1 319 nm的吸收率分别为2.12%、2.15%和2.22%; 对于A=10%的宽带吸收光谱, 在1 064、1 200、1 319 nm的吸收率分别为9.71%、8.35%和9.07%。研究结果对于吸收测量仪、光谱测试仪等仪器的定标具有重要的作用。
离子束溅射技术 Si薄膜 吸收率 光学常数 ion beam sputtering Si thin film absorption rate optical constant 
红外与激光工程
2019, 48(2): 0221003
作者单位
摘要
1 同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 同济大学 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
3 成都精密光学工程研究中心, 四川 成都 610041
4 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
5 哈尔滨工业大学 光电子技术研究所 可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150001
利用离子辅助电子束双源共蒸发工艺方法, 制备了SiO2掺杂含量分别为0、13%、20%、30%、40%和100%的六组HfO2-SiO2混合膜。采用纳米压痕法测量了不同组分混合膜的杨氏模量和硬度, 并研究了混合膜杨氏模量和硬度随SiO2含量增长的变化规律。结果显示, 随着SiO2含量增加, 混合膜杨氏模量和硬度均减小, 双组分复合材料并联模型可以较好地拟合杨氏模量随混合膜SiO2含量变化关系。为了解释混合膜力学性能随SiO2含量变化规律, 对混合膜进行了XRD测试, 研究了混合膜微观结构与杨氏模量和硬度的关系, 发现结晶对硬度影响显著, 对杨氏模量影响较小; 用Zygo干涉仪测量了样品的面形, 获得了薄膜残余应力随SiO2含量的变化规律, 表明SiO2掺杂能减小HfO2薄膜压应力。
混合膜 杨氏模量 硬度 应力 纳米压痕 mixed films Young′s modulus hardness stress nanoindentation 
红外与激光工程
2018, 47(9): 0921001

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