1 同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 同济大学 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
3 成都精密光学工程研究中心, 四川 成都 610041
4 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
5 哈尔滨工业大学 光电子技术研究所 可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150001
利用离子辅助电子束双源共蒸发工艺方法, 制备了SiO2掺杂含量分别为0、13%、20%、30%、40%和100%的六组HfO2-SiO2混合膜。采用纳米压痕法测量了不同组分混合膜的杨氏模量和硬度, 并研究了混合膜杨氏模量和硬度随SiO2含量增长的变化规律。结果显示, 随着SiO2含量增加, 混合膜杨氏模量和硬度均减小, 双组分复合材料并联模型可以较好地拟合杨氏模量随混合膜SiO2含量变化关系。为了解释混合膜力学性能随SiO2含量变化规律, 对混合膜进行了XRD测试, 研究了混合膜微观结构与杨氏模量和硬度的关系, 发现结晶对硬度影响显著, 对杨氏模量影响较小; 用Zygo干涉仪测量了样品的面形, 获得了薄膜残余应力随SiO2含量的变化规律, 表明SiO2掺杂能减小HfO2薄膜压应力。
混合膜 杨氏模量 硬度 应力 纳米压痕 mixed films Young′s modulus hardness stress nanoindentation 红外与激光工程
2018, 47(9): 0921001
研究了含有全氟辛基的小分子液晶与聚合物液晶混合Langmuir膜的表面压-面积等温线,结果表明在混合膜中分子间相互作用依赖于聚合物液晶的结构,这些相互作用导致在LB膜中聚合物液晶固有层结构的消失并且影响小分子液晶的层结构.
小分子液晶 聚合物液晶 Langmuir膜 LB膜 混合膜 结构 low-molar-mass liquid crystal polymer liquid crystals Langmuir films LB films mixed films structure
