一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器

张韬杰; 江毅; 马维一

doi:doi:10.3788/LOP56.170625

激光与光电子学进展, 2019, 56 (17): 170625, 网络出版: 2019-09-05

一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器下载： 1062次

A High Fineness Optical Fiber F-P Pressure Sensor Based on MEMS

张韬杰 ^**江毅 ^*马维一

作者单位

北京理工大学光电学院, 北京 100081

补充材料

张韬杰, 江毅, 马维一. 一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器[J]. 激光与光电子学进展, 2019, 56(17): 170625. Taojie Zhang, Yi Jiang, Weiyi Ma. A High Fineness Optical Fiber F-P Pressure Sensor Based on MEMS[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2019, 56(17): 170625.