提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时,F-P腔长会发生变化;采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术,通过测量F-P腔长就可获得被测压力。实验结果表明,该传感器压力测量分辨率高,线性度高,并具有低温漂特性。
光纤传感器 压力测量 微机电系统 法布里-珀罗腔 激光与光电子学进展
2019, 56(17): 170625
针对分布式光纤拉曼测温系统传统的温度解调算法进行了优化, 提出了补偿光纤色散以及光纤损耗两种算法。通过重合处理补偿因反斯托克斯光与斯托克斯光信号的衰减速度不同而造成的温度解调误差; 通过色散补偿算法对斯托克斯散射信号的位置进行修正, 弥补因两束光的传播速度不同造成的测量误差, 提高了系统的测温精度和定位精度。
拉曼散射 温度解调 分布式测温 Raman scattering temperature demodulation distributed temperature measurement
1 北京理工大学 光电学院, 北京 100081
2 北京理工大学 激光微纳制造研究所, 北京 100081
3 北京首钢股份有限公司, 河北 迁安 064400
提出了一种基于飞秒激光加工技术制作的微纳光纤高温压力传感器。用飞秒激光在光纤端面加工出法珀腔, 制作出的全光纤法珀干涉型压力传感器, 从室温到1100℃范围进行了压力温度试验。在不同温度下, 压力传感器都有良好的线性输出特性, 短时间工作温度超过1100℃, 能够满足高温环境下压力测量的需求。
高温传感器 压力传感器 飞秒激光加工 外腔式光纤法珀干涉仪 high-temperature sensor pressure sensor femtosecond laser fabricating fiber optic extrinsic Fabry-Perot interferometer
