提出并实验验证了一种全石英光纤法布里-珀罗高温动态压力传感器，利用MEMS技术及三层石英玻璃高温热压键合技术实现了传感器敏感单元的批量化制造。为了减小传感器的温度系数，将敏感单元、中空石英管及镀金光纤通过CO₂激光熔接技术进行熔接，从而实现全石英结构光纤压力传感器的制作。对制作的传感器进行了高温静压及常温动压测试，高温静压实验结果表明传感器能在800 ℃，1 MPa温压环境下正常工作，且传感器表现出了良好的高温稳定性及超低温度系数（0.069 nm/℃）。常温动压测试结果表明传感器能实现2 kHz的动态压力测量。由于该种传感器具有全石英无胶粘结构，可批量化制造敏感单元以及超低温度系数的优点，使得该种全石英光纤法布里-珀罗动态压力传感器在高温环境下的动态压力测量领域具有潜在的应用潜力。

光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点，广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备方法。然后对其温度、压力和应变的灵敏度和测量范围等特征参数进行了归纳。总结了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的国内外研究进展及性能参数。介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪传感器温度和压力的交叉敏感问题及解决方法和基于不同种类光纤的法布里-珀罗干涉仪高温传感特性。针对近几年光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的研究进展，介绍了多种用于双参数测量的光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器。最后对光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的未来发展趋势和前景进行了展望。

提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器。单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔，与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔。通过将无芯光纤切割、研磨等步骤，制作出微纳光纤压力传感器。利用飞秒激光微加工，可以加工出不同孔径的微孔及不同厚度的膜片，得到不同灵敏度及测量压力范围的压力传感器。实验结果表明，提出的传感器在-196 ℃、0~5 MPa的压力范围内表现出良好的线性度，压力升高和降低过程中腔长-压力灵敏度分别为110.33 nm/MPa和110.68 nm/MPa。该传感器能够满足超低温环境下的压力测量需求。