高反镜表面疵病尺寸对激光散射场分布的影响 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2021, 58 (1): 0112001, 网络出版: 2021-01-28

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Influence of Surface Defect Size of High-Reflection Mirror on Laser Scattering Field Distribution

江坤高爱华 ^*闫丽荣

作者单位

西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安 710021

测量与计量高反镜疵病相关检测技术积分散射仪 measurement and metrology high-reflection mirror defect related detection technology integrated scatterometer

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