锗近红外光电探测器制备工艺研究进展

黄志伟; 汪建元; 黄巍; 陈松岩; 李成

doi:doi:10.3788/irla202049.0103004

红外与激光工程, 2020, 49 (1): 0103004, 网络出版: 2020-06-08

锗近红外光电探测器制备工艺研究进展

Research progress of technologies for germanium near-infrared photodetectors

黄志伟 ^1,*汪建元 ²黄巍 ²陈松岩 ²李成 ²

作者单位

¹ 厦门大学嘉庚学院, 福建漳州 363105

² 厦门大学物理科学与技术学院, 福建厦门 361005

补充材料

黄志伟, 汪建元, 黄巍, 陈松岩, 李成. 锗近红外光电探测器制备工艺研究进展[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0103004. Huang Zhiwei, Wang Jianyuan, Huang Wei, Chen Songyan, Li Cheng. Research progress of technologies for germanium near-infrared photodetectors[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(1): 0103004.