大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

白云波; 周游; 刘世杰; 邵建达; 徐隆波

doi:doi:10.3788/AOS201838.0912004

光学学报, 2018, 38 (9): 0912004, 网络出版: 2019-05-09

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Splicing Detection Technique of Homogeneity of Large-Aperture Laser Neodymium Glass

白云波 ^1,*周游 ¹刘世杰 ^1,*邵建达 ¹徐隆波 ²

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800

² 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏南京 210094

图 & 表

图 1. 两个子孔径拼接原理图[7]

Fig. 1. Schematic of two sub-aperture splicing[7]

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图 2. 子孔径分布示意图

Fig. 2. Schematic of sub-aperture distribution

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图 3. 光学均匀性检测装置示意图

Fig. 3. Schematic of detection device of optical homogeneity

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图 4. 原始波前

Fig. 4. Raw wavefront

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图 5. 像素错位量与波前误差RMS差值的变化关系

Fig. 5. Pixel displacement versus RMS difference of wavefront

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图 6. 气浮型导轨机械设计图

Fig. 6. Mechanical design diagram of air-float guide

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图 7. 拼接检测装置实物图

Fig. 7. Physical picture of splicing detection device

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图 8. 400 mm×400 mm熔石英材料均匀性测量结果。(a)直接测量; (b)局部对比; (c)拼接测量

Fig. 8. Homogeneity measurement results of 400 mm×400 mm fused quartz. (a) Direct measurement; (b) local comparison; (c) splicing measurement

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图 9. 810 mm×460 mm激光钕玻璃的均匀性测量结果

Fig. 9. Homogeneity measurement results of 810 mm×460 mm laser neodymium glass

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图 10. 单口径与拼接后相同区域的均匀性特征分布图

Fig. 10. Homogeneous feature distributions of single aperture and same region after splicing

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表 1单口径与拼接后相同区域的均匀性测量结果比较

Table1. Comparison of measurement results of single aperture and same region after splicing

Part	Single aperture measurement result /10^-6	Splicing measurement result /10^-6
1	1.3	1.2
2	1.8	1.6
3	1.9	1.8

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白云波, 周游, 刘世杰, 邵建达, 徐隆波. 大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术[J]. 光学学报, 2018, 38(9): 0912004. Yunbo Bai, You Zhou, Shijie Liu, Jianda Shao, Longbo Xu. Splicing Detection Technique of Homogeneity of Large-Aperture Laser Neodymium Glass[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(9): 0912004.

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图 1. 两个子孔径拼接原理图[7]

Fig. 1. Schematic of two sub-aperture splicing[7]

图 2. 子孔径分布示意图

Fig. 2. Schematic of sub-aperture distribution

图 3. 光学均匀性检测装置示意图

Fig. 3. Schematic of detection device of optical homogeneity

图 4. 原始波前

Fig. 4. Raw wavefront

图 5. 像素错位量与波前误差RMS差值的变化关系

Fig. 5. Pixel displacement versus RMS difference of wavefront

图 6. 气浮型导轨机械设计图

Fig. 6. Mechanical design diagram of air-float guide

图 7. 拼接检测装置实物图

Fig. 7. Physical picture of splicing detection device

图 8. 400 mm×400 mm熔石英材料均匀性测量结果。(a)直接测量; (b)局部对比; (c)拼接测量

Fig. 8. Homogeneity measurement results of 400 mm×400 mm fused quartz. (a) Direct measurement; (b) local comparison; (c) splicing measurement

图 9. 810 mm×460 mm激光钕玻璃的均匀性测量结果

Fig. 9. Homogeneity measurement results of 810 mm×460 mm laser neodymium glass

图 10. 单口径与拼接后相同区域的均匀性特征分布图

Fig. 10. Homogeneous feature distributions of single aperture and same region after splicing

表 1单口径与拼接后相同区域的均匀性测量结果比较

Table1. Comparison of measurement results of single aperture and same region after splicing

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图 1. 两个子孔径拼接原理图[7]

Fig. 1. Schematic of two sub-aperture splicing[7]

图 2. 子孔径分布示意图

Fig. 2. Schematic of sub-aperture distribution

图 3. 光学均匀性检测装置示意图

Fig. 3. Schematic of detection device of optical homogeneity

图 4. 原始波前

Fig. 4. Raw wavefront

图 5. 像素错位量与波前误差RMS差值的变化关系

Fig. 5. Pixel displacement versus RMS difference of wavefront

图 6. 气浮型导轨机械设计图

Fig. 6. Mechanical design diagram of air-float guide

图 7. 拼接检测装置实物图

Fig. 7. Physical picture of splicing detection device

图 8. 400 mm×400 mm熔石英材料均匀性测量结果。(a)直接测量; (b)局部对比; (c)拼接测量

Fig. 8. Homogeneity measurement results of 400 mm×400 mm fused quartz. (a) Direct measurement; (b) local comparison; (c) splicing measurement

图 9. 810 mm×460 mm激光钕玻璃的均匀性测量结果

Fig. 9. Homogeneity measurement results of 810 mm×460 mm laser neodymium glass

图 10. 单口径与拼接后相同区域的均匀性特征分布图

Fig. 10. Homogeneous feature distributions of single aperture and same region after splicing

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Table1. Comparison of measurement results of single aperture and same region after splicing

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