1 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800
2 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
提出了基于600 mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1 m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明:拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10
-7,全口径均匀性的重复性优于4×10
-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10
-7。
测量 光学均匀性 拼接检测 激光玻璃
1 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
2 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
传统光学干涉检测方法为相对检测法,检测精度一般受限于参考面面形精度,利用绝对检测技术可消除参考面面形误差对干涉测量精度的制约, 从而可以实现纳米级精度的面形测量。首先介绍了N位旋转平均绝对检测方法和斜入射绝对检测方法;然后对这两种检测方法和面形恢复过程中运用到的三种算法(旋转平均算法、迭代算法、奇偶函数算法)进行了理论推导和模拟仿真分析;最后通过实验验证了这三种方法恢复的面形精度及其可行性,并对各方法的优缺点和适用性进行了分析比较。最终实现了100 mm口径平面镜峰谷(PV)值近λ/40的高精度干涉仪标准平晶绝对面形的测量。
测量 干涉检测 绝对检测 斜入射 N位旋转平均 激光与光电子学进展
2018, 55(5): 051201
