基于整形飞秒激光脉冲的三维微纳制备

乔玲玲; 储蔚; 王哲; 程亚

doi:doi:10.3788/AOS201939.0126012

光学学报, 2019, 39 (1): 0126012, 网络出版: 2019-05-10

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Three-Dimensional Microfabrication by Shaped Femtosecond Laser Pulses

乔玲玲 ^1,*储蔚 ^1,2,*王哲 ^1,3程亚 ^1,2,*

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800

² 华东师范大学物理与材料科学学院极端光机电实验室, 上海 200241

³ 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 200031

补充材料

乔玲玲, 储蔚, 王哲, 程亚. 基于整形飞秒激光脉冲的三维微纳制备[J]. 光学学报, 2019, 39(1): 0126012. Lingling Qiao, Wei Chu, Zhe Wang, Ya Cheng. Three-Dimensional Microfabrication by Shaped Femtosecond Laser Pulses[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(1): 0126012.