光学 精密工程, 2015, 23 (5): 1387, 网络出版: 2015-06-11
MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用
Fluid-structure interaction of MEMS vector hydrophone in packing processing
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20152305.1387 |
| 中图分类号: | TB565.1 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2013AA09A412)、 国家自然科学基金资助项目(No.61127008, No.51205374)、 中北大学研究生科技立项资助项目(No.20141146) |
| 收稿日期: | 2014-12-15 |
| 修改稿日期: | 2015-01-20 |
| 网络出版日期: | 2015-06-11 |
| 通讯作者: | 刘梦然 (liumengran1991@163.com) |
| 备注: | -- |
刘梦然, 简泽明中, 张国军, 张文栋. MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(5): 1387. 刘梦然, 简泽明中, 张国军, 张文栋. Fluid-structure interaction of MEMS vector hydrophone in packing processing[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1387.
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