MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用

刘梦然; 简泽明中; 张国军; 张文栋

doi:doi:10.3788/ope.20152305.1387

光学精密工程, 2015, 23 (5): 1387, 网络出版: 2015-06-11

MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用

Fluid-structure interaction of MEMS vector hydrophone in packing processing

刘梦然 ^1,2,*简泽明中 ^2,3张国军 ^1,2张文栋 ^1,2

作者单位

¹ 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西太原 030051

² 中北大学电子测试技术重点实验室, 山西太原 030051

³ 北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西太原 030051

补充材料

刘梦然, 简泽明中, 张国军, 张文栋. MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用[J]. 光学精密工程, 2015, 23(5): 1387. 刘梦然, 简泽明中, 张国军, 张文栋. Fluid-structure interaction of MEMS vector hydrophone in packing processing[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(5): 1387.