全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析

董吉洪; 徐宏

光学精密工程, 2005, 13 (z1): 148, 网络出版: 2006-11-03

全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析

Error analysis on the X-Y table in automatic gold wire bonder

董吉洪徐宏

作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

图 & 表

董吉洪, 徐宏. 全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析[J]. 光学精密工程, 2005, 13(z1): 148. 董吉洪, 徐宏. Error analysis on the X-Y table in automatic gold wire bonder[J]. Optics and Precision Engineering, 2005, 13(z1): 148.