Pb(Zr0.3Ti0.7)O3热释电薄膜材料研究

钟朝位; 汪红兵; 彭家根; 张树人; 张万里

红外与毫米波学报, 2005, 24 (6): 405, 网络出版: 2006-06-12

Pb(Zr_0.3Ti_0.7)O₃热释电薄膜材料研究

INVESTIGATION ON Pb(Zr_0.3Ti_0.7)O₃ PYROELECTRIC THIN FILM MATERIALS

钟朝位 ¹汪红兵 ²彭家根 ^1,3张树人 ¹张万里 ¹

作者单位

¹ 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

² 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060

³ 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900

补充材料

钟朝位, 汪红兵, 彭家根, 张树人, 张万里. Pb(Zr_0.3Ti_0.7)O₃热释电薄膜材料研究[J]. 红外与毫米波学报, 2005, 24(6): 405. 钟朝位, 汪红兵, 彭家根, 张树人, 张万里. INVESTIGATION ON Pb(Zr_0.3Ti_0.7)O₃ PYROELECTRIC THIN FILM MATERIALS[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2005, 24(6): 405.