电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
作为一种新型功能材料,铁电阴极材料的研究日益受人们重视.对铁电材料进行电子发射试验时,偶然观测到材料压电系数随着电子发射次数的增多,其数值大小渐次先由高降低至零,然后又开始反向增大并逐渐稳定于某一绝对值,该绝对值略小于预极化初始值,而在这变化过程中,材料的电子发射电流密度基本恒定.对此进行重复验证以及系统考察发现,压电系数的这种变化规律,为铁电材料电子发射时所普遍遵循,这为铁电电子发射的机理研究探索又提供了一种新的实验现象.
压电系数 电子发射 铁电阴极 理论解释 Piezoelectric coefficient Electron emission Ferroelectric cathode material Theoretical explain 强激光与粒子束
2005, 17(10): 1569
1 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
2 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060
3 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
利用射频磁控溅射法对0.8Pb(Zr0.3Ti0.7)O3+0.2PbO的陶瓷靶进行溅射,在5英寸的TiOx/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PZT薄膜.实验表明,PZT薄膜的取向由(111)到(100)的改变可以通过精确控制基片温度来实现.(111)取向的薄膜具有良好的介电、铁电和热释电性能,其剩余极化强度、介电常数、介电损耗、矫顽场和热释电系数分别为20μC/cm2,370,1.5%,130kV/cm和1.1×10-8C/cm2K,该薄膜可望在非制冷红外焦平面探测器阵列中得到应用.
PZT薄膜 射频磁控溅射 非制冷红外焦平面 探测器阵列 lead zirconate titanate films RF-magnetron sputtering uncooled infrared focal plane detector arrays
电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
铁电阴极材料,作为一种新型的功能材料,以其高的发射电流密度等优点而受到重视.鉴于目前研究的铁电阴极材料多局限于锆钛酸铅等含铅材料,作者采用无铅铁电陶瓷Na1/2Bi1/2TiO3-BaTiO3(BNBT),进行了电子发射实验,获得发射电流密度达20A/cm2.初步实验结果表明,与锆钛酸铅相比,钛酸铋钠发射电流密度略低但性能稳定性较好.作为无铅铁电阴极,BNBT仍然具有良好的研究开发价值.
无铅 铁电阴极 电子发射 电流发射密度 无铅铁电陶瓷 Lead-free Ferroelectric cathode Electron emission Emission current density Lead-free ferroelectric ceramics 强激光与粒子束
2004, 16(12): 1607
