红外与激光工程, 2015, 44 (6): 1884, 网络出版: 2016-01-26   

基于斜率的TMT三镜面形检测方法

TMT M3 mirror figure measurement with slope method
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
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