光子学报, 2009, 38 (3): 547, 网络出版: 2010-07-16
飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列
Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O437 |
栏目: | 波导与集成光学 |
项目基金: | 国家自然科学基金(60678013)资助 |
收稿日期: | 2007-12-05 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2010-07-16 |
通讯作者: | 李明 (lmsgzhx@126.com) |
备注: | -- |
李明, 程光华, 赵卫, 王屹山, 贺俊芳, 陈国夫. 飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列[J]. 光子学报, 2009, 38(3): 547. LI Ming, CHENG Guang-hua, WANG Yi-shan, HE Jun-fang, CHEN Guo-fu, ZHAO Wei. Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(3): 547.