飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列 | 光子学报 -- 中国光学期刊网

光子学报, 2009, 38 (3): 547, 网络出版: 2010-07-16

飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列

Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching

李明 ^*程光华赵卫王屹山贺俊芳陈国夫

作者单位

中国科学院西安光学精密机械研究机所瞬态光学与光子技术国家重点实验室，西安 710119

飞秒激光酸刻蚀凹面微透镜阵列 Femtosecond laser Hydrofluoric acid etching Concave microlens array

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