中国科学院西安光学精密机械研究机所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室，西安 710119
基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀，在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列，并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓，测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控，制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.
飞秒激光 酸刻蚀 凹面微透镜阵列 Femtosecond laser Hydrofluoric acid etching Concave microlens array
