内嵌微流道低温共烧陶瓷基板传热性能

胡独巍; 缪旻; 方孺牛; 崔小乐; 金玉丰

doi:doi:10.11884/hplpb201628.064126

强激光与粒子束, 2016, 28 (6): 064126, 网络出版: 2016-04-12

内嵌微流道低温共烧陶瓷基板传热性能

胡独巍 ^1,*缪旻 ²方孺牛 ³崔小乐 ¹金玉丰 ¹

作者单位

¹ 北京大学深圳研究生院信息工程学院, 广东深圳 518055

² 北京信息科技大学信息微系统研究所, 北京 100101

³ 北京大学微纳电子学研究院, 北京 100871

图 & 表

胡独巍, 缪旻, 方孺牛, 崔小乐, 金玉丰. 内嵌微流道低温共烧陶瓷基板传热性能[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28(6): 064126. Hu Duwei, Miao Min, Fang Runiu, Cui Xiaole, Jin Yufeng. [J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28(6): 064126.