激光与光电子学进展, 2018, 55 (5): 053103, 网络出版: 2018-09-11   

金属薄膜的缺陷模对一维光子晶体滤波特性的影响 下载: 1257次

Influence of Defect Modes of Metal Films on Filtering Characteristics of One-dimensional Photonic Crystals
作者单位
太原科技大学应用科学学院, 山西 太原 030024
摘要
采用时域有限差分(FDTD)法,对由银-氧化铟锡(ITO)薄膜构成的一维光子晶体结构在300~800 nm波段范围内的滤波特性进行了研究。仿真研究了金属缺陷层厚度、入射角度和ITO膜厚度等对光子晶体滤波特性的影响。对不同参量下光子晶体结构的色散曲线也进行了仿真计算,并分析了色散机理。结果表明,改变缺陷层的厚度能够调制光子晶体的滤波范围及滤波波形;入射光线小角度范围(0°~20°)内的变化对该光子晶体滤波性能的影响甚微;随着ITO膜厚度的增加,滤波波谱呈周期性变化。
Abstract
The filtering characteristic of the one-dimensional photonic crystal structure composed of Ag-ITO thin films in the spectral range of 300-800 nm is investigated by the finite difference time domain method. The influences of metal defect layer thickness, incident angle, and ITO film thickness on filtering characteristics of photonic crystals are simulated. The dispersion relationships of the photonic crystal under different parameters are simulated and calculated, and the corresponding mechanisms are analyzed. The results indicate that, the filtering range and filtering waveform of the photonic crystal can be modulated by tuning defect layer thickness. The change of the incident light in the small angle range (0°-20°) has little influence on the filtering performance of the photonic crystal. With the increase of ITO film thickness, the filtering spectrum shows a periodic change.

1 引言

光子晶体是由呈周期性排列的具有不同折射率的介质材料组合而成人工材料,其介电常数在空间某一或某几个方向上按一定周期变化[1-3] 。其工作原理与半导体晶格对电子波函数的调制原理类似,即电磁波在光子晶体中传播时受布拉格散射[4-5]的作用,其能量会形成能带结构。光子晶体中存在光子带隙,因此其本身就是一个天然的滤波器[6-9],在微波电路、天线以及全新光子器件设计等方面具有重要的应用价值。光子晶体理论最早由Yablonovitch[10-11]提出,此后经过近20年的发展,关于光子晶体的理论与实验研究已逐步从微波波段发展到红外、可见光波段,在制备和加工方面也取得了一定的进展[12-13],目前对光子晶体滤波特性的研究已成为国内外微纳光学领域的热点问题之一。

大量研究表明,在光子晶体中引入缺陷结构可以直接制备光子晶体共振腔,即当外来入射波的频率和所引入的缺陷模的频率吻合时会发生共振。光子晶体滤波器就是利用了这一特性来实现传统滤波器所不具备的滤波功能。一方面,当光子晶体中的某些单元缺失而形成缺陷时,光子频率禁带内的某些频率会毫无损失地穿过光子晶体,利用光子晶体这一特性可以制备高品质的极窄带选频滤波器[14-17]。另一方面,当在周期性排列的光子晶体基元介质薄膜之间合理地插入不同于基元介质的薄膜时也会形成缺陷,光传播到缺陷位置时被局域限制(即缺陷位置处的光场增强),自发辐射增强,这种增强的自发辐射导致透射能带谱中出现透射率很高且带宽很窄的缺陷模[18-21]。通过引入缺陷来控制电磁波在光子晶体中传播的方法可广泛应用于光通信、光电子集成器件等领域[22-23],因此,以不同的应用场合为背景,开展基于各类型缺陷材料的光子晶体滤波的机理研究具有重大意义。目前,大多数研究主要针对缺陷材料为电介质的情形,而缺陷材料为金属的研究鲜有报道[24-28]。金属光子晶体能够在亚波长尺度上有效控制和约束光的传播,呈现出诸多突破光的衍射理论限制的奇特的光传输现象[29],在纳米光子器件、高密度集成电路、数据存储、纳米光刻等领域具有巨大的应用潜力。利用金属光子晶体超构材料,可设计更符合实际应用要求的光子和电磁器件,因此近几年来备受关注[30-36]

2 研究模型与方法

含有缺陷的一维光子晶体结构如图1所示,其中TM表示横磁。所计的光子晶体模型分为三个部分:衬底层、波导层和缺陷层。衬底材料为石英玻璃(SiO2,折射率nglass=1.45);波导层由氧化铟锡(ITO,折射率nITO=1.73)薄膜和银(Ag)膜交替组成,其厚度分别为dAdB。缺陷层材料为Ag,厚度为dc。采用二维的电磁场时域有限差分(FDTD)法进行仿真研究。根据FDTD算法的收敛准则,在x-y平面内将单元网格划分为2 nm×2 nm大小(该尺度远小于入射波长的十分之一),以确保计算结果的准确可靠。对计算边界进行如下处理:在x方向选用布洛赫边界条件,y方向选用理想匹配层(PML)为吸收层条件,用于吸收向外散射的电磁波。计算采用平面横磁(TM)波,入射方向自上而下(图1),在波长为300~800 nm的范围内,仅考虑金属Ag的色散(其余电介质的相对介电常数很小,可以忽略),其色散关系采用杜鲁德模型[37-38]表示为

ε(ω)=ε-ωp2ωω+,(1)

式中ε为Ag薄膜的介电常数;ε表征金属带间跃迁对介电常数的贡献,在远离带间跃迁频率时,ε为常数,Ag膜的ε为5;Ag的等离子频率ωp=1.4497×1016 rad·s-1;阻尼系数γ=8.33689×1013 rad·s-1

图 1. 含有缺陷的一维光子晶体结构

Fig. 1. Structure of 1D photonic crystal with defects

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3 结果与分析

取Ag膜厚度dB=25 nm,ITO膜厚度dA=60 nm,所得的光子晶体透射率随波长的变化关系如图2所示。由图2(a)可知,改变缺陷的厚度dc不仅可以改变光子晶体透射共振峰的位置,还可以改变其滤波的范围及滤波波形。一方面,随着dc的增大,短波处的频谱透射率减小,表明该光子晶体结构可对紫外光起到过滤的作用,但当缺陷厚度太大(大于80 nm)时,金属膜的吸收作用会阻碍整个入射频谱的通过;另一方面,由图2(b)可以看出,随着缺陷厚度的增大,长、短波方向上的两个共振峰逐步合拢,当dc=50 nm时可获得一个通带带宽在30 nm左右的平稳滤波波形,同时还保持约82%的高透射率。对这两方面的现象,可以通过计算该光子晶体的色散、能带曲线来给出相应的物理解释。

图 2. (a)透射率分布图;(b) dc=50 nm时的透射谱

Fig. 2. (a) Transmissivity distribution; (b) transmission spectrum at dc=50 nm

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根据布洛赫波的产生原理,应用Lumerical FDTD仿真软件得出一维复合光子晶体结构的能带图,如图3所示,其中f为入射波频率,kx为布洛赫波x方向的波矢分量大小。根据布洛赫定律,在x方向设置布洛赫边界条件,并采用多偶极子激励下的峰值扫频检测法,在kx按一定步长逐步从0增加到5×107 rad·m-1的过程中求出该模型结构的本征频率,然后导出所有kx对应的本征频率数据,最终获得相应结构的能带图。现分别就三种缺陷厚度情况进行讨论:当dc=20 nm时,分别在频率f为700 THz和900 THz附近处出现了本征色散模式,如图3(a)所示,而从能带分析的角度来看,该本征模式即所谓的导带模式。引入金属缺陷相当于是在光子晶体结构中形成共振腔,当外来的入射电磁频率与该本征模式(由引入缺陷所构成的共振腔决定)频率相吻合时,就会产生耦合共振,使得入射波透射率增大,从而在图2(b)中出现两个增强透射峰。与缺陷为电介质的情形不同,当金属中存在自由电荷时,受外电场的作用,其中的自由电荷受到极化。随着金属缺陷厚度的增大,其与上下两电介质交界面处的极化电荷的耦合作用会逐渐减弱,如图3(b)所示,当缺陷厚度dc增大到50 nm,频率f为780 THz时,850 THz附近出现两个本征模。与图3(a)相比,这两个本征模式逐渐靠拢,从而使得图2(b)中的两波峰距离减小,当缺陷厚度为50 nm时两个波峰将拟合成具有一定带宽的透射频谱,这也就是通窄带滤波器形成的原因。当缺陷厚度dc继续增大到80 nm时,电荷之间的耦合作用进一步衰减,以至于两个本征模式相互独立,受光子晶体结构对称性的影响,二者的本征频率最终趋于一致,从而只有在f=800 THz处出现近乎单一的本征色散模,如图3(c)所示。另外,从图3还可以看出,在f=1500 THz处出现一条水平色散曲线,它不随缺陷厚度的改变而改变,对应波长为200 nm,即改变入射角度对f=1500 THz处的透射谱线影响不大。

图 3. 不同条件下光子晶体的色散曲线。(a) dc=20 nm;(b) dc=50 nm;(c) dc=80 nm

Fig. 3. Dispersion curves of photonic crystal under different conditions. (a) dc=20 nm; (b) dc=50 nm; (c) dc=80 nm

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以上讨论均是针对光线正入射的情况,下面对光线斜入射的情形进行研究。当缺陷厚度dc=50 nm时,在不同入射角下光子晶体的透射率曲线如图4所示,其中θ为入射角。可以看出,在入射角由0°增大到20°的过程中,该光子晶体结构的透射率曲线几乎重合。结合图3(b)的色散曲线分析可知,在760~810 THz的频段内,随着kx的变化,色散曲线几乎保持水平分布,表现为图4所示该光子晶体入射角小角度变化(0°~20°)对带通滤波特性的影响甚微。

图5(a)所示为ITO膜厚度随入射波长的变化关系,其中缺陷厚度dc=50 nm。可以发现,通过增加ITO膜的厚度,可以使光子晶体滤波器的带通滤波位置发生红移。选取入射波长λ0=400 nm,从图5(a)中对应虚线处读取数据可知,随ITO厚度的增加,入射波透射率曲线呈周期性变化,其周期P=115 nm,如图5(b)所示。根据布拉格散射定律有

nλeff=2dsinβ,(2)

式中n为折射率,β为散射角,λeff为有效波长。令β=π/2,λeff=λ0/nITO,则可得其周期为

P=d=λeff2=4001.73×2=115.6nm,(3)

仿真结果与理论计算结果完全一致。

图 4. 不同入射角度下光子晶体透射率与入射波长的关系

Fig. 4. Transmissivity of photonic crystal versus incident wavelength under different incident angles

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图 5. (a) ITO膜厚度对光子晶体滤波器透射率的影响;(b)波长为400 nm时透射率与ITO膜厚度的关系

Fig. 5. (a) Effect of ITO film thickness on transmissivity of photonic crystal; (b) relationship between transmissivity and ITO film thickness at 400 nm wavelength

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4 结论

采用FDTD法对含有金属缺陷的一维光子晶体的滤波特性进行了仿真研究,并计算了与之对应的光子晶体色散曲线,分析了色散机理。改变缺陷厚度不仅可以改变光子晶体透射共振峰的位置,还可以改变其滤波的范围及滤波波形,同时通过能带理论对上述现象作出了初步的解释说明。入射光线在小角度(0°~20°)变化的情况下,入射角度对滤波器滤波波峰位置的影响甚微,这有利于扩大光子晶体的应用领域。增大ITO膜的厚度,光子晶体的透射波峰向长波方向移动,同时该光子晶体滤波性能呈现周期性变化,变化周期为115 nm,这与理论计算的结果(115.6 nm)相吻合。该研究结果为光子晶体滤波器的设计和应用提供了参考。

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